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1~3インチ半導体ウェハー
商品の詳細
1〜3インチの半導体シリコンウェハーは、デバッググレードのシリコンウェハー、テストグレードのシリコンウェハー、および製品グレードのシリコンウェハーを提供できます。
CZ法、FZ溶融法、酸化膜、窒化膜、研削、研磨などの需要に応じて製造できます。
| 製法 | CZ,MCZ,FZ |
| グレード | Prime,Test,Dummy,etc. |
| 直径 | 1 2 3 inch/25mm 50mm 75mm |
| 厚み | 50～3000um |
| 表面状態 | アズスライス、研磨、エチッドポリシュ,etc |
| 結晶方位 | (100)(111)(110)(211),etc. |
| OF | up to 7 deg |
| ドーパント |
P/B,N/Phos,N/As,N/Sb,intrinsic FZ:up to 20k ohm-cm |
| 抵抗値 | CZ/MCZ:From 0.001 to 1000 ohm-cm |
| 薄膜 |
PVD:Al,Cu,Cr,Si,Ni,Fe,Mo.etc, PECBD:Oxide,Nitride,SiC,etc |
| 加工サービス |
DSP,ultra thin,ultra flat,etc. Downsizing,back grinding,dicing,etc. |