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4~6インチシリコンウェハー

商品の詳細

4〜6インチの半導体シリコンウェハーは、デバッググレードのシリコンウェハー、テストグレードのシリコンウェハー、および製品グレードのシリコンウェハーを提供できます。
CZ法、FZ法、酸化膜、窒化膜、研削、研磨などの需要に応じて製造できます。

 
 製法  CZ,MCZ,FZ
 グレード  Prime,Test,Dummy,etc.
 直径  4 5 6 inch/100mm 125mm 150mm
 厚み  50~3000um
 表面状態  アズスライス、研磨、エチッドポリシュ,etc
 結晶方位  (100)(111)(110)(211),etc.
 OF  up to 7 deg
 ドーパント  P/B,N/Phos,N/As,N/Sb,intrinsic
 FZ:up to 20k ohm-cm
 抵抗値  CZ/MCZ:From 0.001 to 1000 ohm-cm
 薄膜  
PVD:Al,Cu,Cr,Si,Ni,Fe,Mo.etc,
 PECBD:Oxide,Nitride,SiC,etc

 
 加工サービス
 DSP,ultra thin,ultra flat,etc.
 Downsizing,back grinding,dicing,etc.

 
























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