商品の詳細
炭化ケイ素(SiC)若しくは、シリコンカーバイドは、SiC半導体の最大特徴は、バンドギャップが3.25eVと従来のSi半導体に比べて3倍と広いことです。このため、絶縁破壊にいたる電界強度が3MV/cmと10倍程度大きくなります。又、熱伝導性がSiの3倍以上であり、300°C以上の高温においても電気的特性が安定しているばかりか、デバイス化した場合にはデバイス内部での電力損失をSi半導体の1/10近くまで抑えられます。更に、耐薬品性に優れ、放射線に対する耐性もSi半導体より高いという特徴を持っています。こうした特徴により、SiCは従来のSi半導体より小型、低消費電力、高効率のパワー素子、高周波素子、耐放射線性に優れた半導体材料として期待されています。
フレダ テクノロジーは、2〜6インチのテストグレード、インダストリアルグレード、およびセレクトグレードのシリコンカーバイド基板を提供できます。製品は、アメリカンクリー、日本の昭和電工、中国のティアンケヘダから供給され、シリコンカーバイドエピタキシー(EPI)も提供できます。
グレード | プロダクション | ダミー |
サイズ/直径 | 6インチ/150mm±0.2 | |
厚み | 4H-N:350um±25 | |
4H-SI:500um±25 | ||
結晶方位 |
Off axis : 4.0° toward <1120>±0.5° for 4H-N
On axis : <0001>±0.5° for 4H-SI
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マイクロパイプ密度 | 4H-N: ≤2 cm-2 |
≤15 cm-2
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4H-SI: ≤5cm-2 |
≤15 cm-2
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抵抗率 | 4H-N: 0.015~0.025 Ω·cm |
0.015~0.028 Ω·cm
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4H-SI:≥1E5 Ω·cm | ||
オリフラ | {10-10}±5.0° | |
オリフラ長さ | 4H-N: 47.5 mm±2.0 mm | |
4H-SI: Notch | ||
エッジ | 3 mm | |
TTV/Bow/Warp | ≤15μm /≤40μm /≤60μm | |
表面粗さ | Polish Ra≤1 nm | |
CMP Ra≤0.5 nm
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Hex Plates by high intensity light |
Cumulative area ≤0.05%
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Cumulative area ≤0.1%
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Edge chip | None |
5 allowed, ≤1 mm each
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Scratches by high intensity light |
None
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Cumulative length≤1×wafer
diameter
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Contamination by high intensity light | None | |
Cracks by high intensity light | None |
Cumulative
length ≤ 20mm, single length≤2mm |